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中新網廣東新聞6月21日電 (李映民 李獲)位于廣東東莞松山湖高新區的松山湖材料實驗室精密儀器研發團隊近日成功自研臺階儀，實現了國產化臺階儀零的突破，加速國產替代。

臺階儀，又名探針式表面輪廓儀，用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量，是微電子、半導體、醫療、科學研究和材料科學等領域不可缺少的關鍵測量設備。長期以來，此類儀器被美國和日本廠商壟斷，國內尚無廠商可提供同類產品。

2020年，松山湖材料實驗室精密儀器研發團隊對臺階儀研發項目發起挑戰，2022年6月，正式機臺投入使用。

“臺階儀研發擁有‘四個超’——超精細的運動控制，超精密位移傳感，超低噪聲信號采集以及超高平整度零部件。這四個關鍵技術，實現了臺階儀的整機開發。”松山湖材料實驗室精密儀器研發團隊負責人許智表示，該儀器從應用場景層面看，可以替代進口。

松山湖材料實驗室精密儀器研發團隊負責人許智表示，國產化臺階儀平均售價是進口產品的大概六到七成，可以降低用戶的采購成本。未來，團隊還將推出更經濟的型號，預計售價為進口產品的一半左右。

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